真空科學與技術學報雜志創刊于1981年，主要征收行波管、硬度、電子密度、微觀結構、真空、等離子體、力學性能、微觀組織、磁控濺射、數值模擬方面的稿件，因此該刊開設了欄目是：綜述評述、研究快報、研究論文、科普專欄、技術交流等。

真空科學與技術學報雜志征收稿件的關鍵詞分布如下：