【雜志簡介】

　　《真空科學與技術》主要刊登真空技術、表面與界面物理與化學、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學與工藝等。

　　主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業技術、科研動態與學術活動、快報等。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄　該刊被以下數據庫收錄：

　　CA 化學文摘(美)(2009)

　　SA 科學文摘(英)(2009)

　　CBST 科學技術文獻速報(日)(2009)

　　EI 工程索引(美)(2009)

　　中國科學引文數據庫(CSCD—2008)

　　【核心期刊】

　　中文核心期刊(2008)

　　中文核心期刊(2004)

　　中文核心期刊(2000)

　　中文核心期刊(1996)

　　【欄目設置】

　　主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業技術、科研動態與學術活動、快報等。

　　雜志優秀目錄參考：

　　容性耦合等離子體腔室放電特性仿真研究 楊旺，劉學平，夏煥雄，向東，牟鵬，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng

　　用Langmuir探針法標定的發射光譜法診斷等離子體電子密度及分布 陳宗勝，林志丹，時家明，馬麗芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang

　　基于PEM和模糊PI的反應磁控濺射非線性控制方法 張軍，葉敏，張新榮，張道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei

　　應用于等離子體破裂防護的雙渦流驅動快速充氣閥的研制 莊會東，張曉東，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong

　　多模式旋轉磁場對電弧離子鍍弧斑放電的影響分析 郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，謝婷婷，王向紅，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong

　　高碳錳鐵預氧化—真空脫碳制備低碳錳鐵熱力學分析及實驗研究 徐寶強，馬永博，楊斌，劉大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun

　　TiO2真空碳熱反應及可溶性TiO陽極電解過程研究 趙坤，王耀武，陳昪，李應龍，馮乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，Feng Naixiang

　　氣相合金化制備鎂鋅二元合金的研究 牛立斌，許臻，彭建洪，王曉剛，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，Fan Zimin

　　氧化鋁真空碳熱還原氯化歧化過程中二氯化鋁行為研究 盧勇，周岳珍，陳秀敏，舒凱，高騰飛，郁青春，劉大春，楊斌，徐寶強

　　磁控濺射制備Er3+摻雜Al2O3薄膜的上轉換發光特性 王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie

　　Ti6Al4V磁控濺射沉積Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究 郭楊陽，田偉紅，黃曉波，張翔宇，李軒鵬，范愛蘭，唐賓，劉小萍

　　真空蒸鍍Ag2O/HDPE膜對奶酪的保鮮性研究 李亞娜，徐偉民，張國全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan

　　N離子注入對TiN薄膜的組織及性能的影響 馮軍，金凡亞，童洪輝，但敏，沈麗如，陳美艷，鄧雉，賴新春

　　交通類論文發表：接觸網作業車制動閘瓦偏磨原因分析及改進

　　摘　要：接觸網作業車是電氣化鐵路接觸網日常維修、大修、事故搶修和施工的重要機具。其作業車制動系統性能好壞，將直接影響其行車安全。筆者結合多年的現場檢修工作經驗與專業理論知識，通過對接觸網作業車制動閘瓦偏磨原因分析，采取科學有效措施，并在作業車上進行成功改造，使制動閘瓦偏磨問題得到徹底解決。

　　關鍵詞：閘瓦偏磨,接觸網原因,基礎制動,措施

　　隨著電氣化鐵道向高速、重載方向快速發展，對接觸網可靠性的要求越來越高，也對接觸網作業車行車安全提出更高要求。隨著我段接觸網作業車使用年限增加，制動閘瓦偏磨越來越嚴重，直接影響行車安全。

　　真空科學與技術最新期刊目錄

消除磁控濺射Cr薄膜應力環狀缺陷的工藝優化

摘要：針對磁控濺射沉積Cr薄膜中出現的周期性同心圓條紋及應力環狀缺陷問題，本文提出了一種通過工作氣壓調控結合雙靶共濺射的工藝優化方案。通過系統實驗對比了不同氣壓及靶位布局對應力分布的影響。結果表明，提升工作氣壓并引入雙靶共焦正對濺射技術，可顯著增強濺射粒子在輸運過程中的散射作用，有效減弱高能粒子對基片的轟擊。優化后的工藝成功消除了薄膜表面的同心圓條紋缺陷，并顯著改善了應力分布的均勻性，為高質量鉻薄膜的制...

負壓隔膜泵結構優化及性能驗證

摘要：負壓隔膜泵通過隔膜往復運動實現流體輸送，具備深度真空抽取與高壓流體壓縮的功能，在精密流量及真空控制等領域得到廣泛應用。負壓隔膜泵所能達到的負壓值及負壓穩定性是影響流量、噪聲和負載振動的關鍵，本文基于減小隔膜形變占用體積以提高隔膜泵負壓性能的原理，提出了增大隔膜剛性支撐橫梁尺寸、降低偏心輪偏心量的高負壓隔膜結構設計優化方法；并對其改進優化效果進行了實驗驗證。實驗結果表明，改進優化后的負壓隔膜泵相比改...

介質阻擋放電非平衡態等離子體處理含聚廢水油水分離實驗研究

摘要：針對聚合物驅油廢水高黏度、強乳化穩定性導致油水分離困難的問題，構建了介質阻擋放電（DBD）結構的非平衡態等離子體反應器，開展了模擬含聚廢水油水分離實驗。系統考察了溶液濃度、油水體積比、放電電壓、放電時間及電極配置等因素對油去除行為的影響，并結合溶液黏度及水質參數變化分析分離機理。結果表明，在HPAM 質量濃度 1 g/L、油水體積比 1:100、放電電壓峰值 30 kV、單電極配置、處理時間 12...

JCPY-4.2D真空鍍膜機器人設計仿真與性能試驗

摘要：針對大型復雜曲面工件真空鍍膜的高精度、多層膜系制備需求，研發JCPY-4.2D真空鍍膜機器人系統。該機器人采用5自由度直角坐標+回轉結構設計，適配工作溫度15℃～120℃、工作壓力2×10?³ Pa環境下的磁控濺射鍍膜，可實現30kg負載下±1mm重復定位精度和±3mm靶基距控制精度。通過SolidWorks完成本體結構建模與干涉校驗，基于ANSYS開展關鍵部件靜力學仿真，利...

渦輪分子泵跨流態模擬及結構靈敏度分析

摘要：針對超高真空獲得中以氫氣為代表的輕氣體難以有效抽除，以及渦輪渦輪分子泵在跨流態（由分子流向過渡流轉變）區域抽氣效率顯著衰減及結構設計缺乏理論指導的問題，本文采用基于 OpenFOAM 的直接模擬蒙特卡洛（DSMC）方法，建立了渦輪級二維葉列的數值計算模型。在驗證了模型網格無關性并與Kruger理論值及Sawada實驗數據進行對比驗證的基礎上，系統研究了不同流態下入口壓力、轉速比及結構參數（節弦比、...

脈沖電壓大小對2024鋁合金表面沉積DLC薄膜性能調控機制研究

摘要：采用等離子體增強化學氣相沉積技術，在2024鋁合金表面沉積類金剛石（DLC）薄膜，研究了脈沖電壓對薄膜微觀鍵合結構、表面形貌以及整體服役性能的影響。結果表明，隨脈沖電壓升高，薄膜厚度不斷增大，氫含量及C–H鍵逐漸減少，sp雜化鍵含量升高，表面粗糙度呈先降低后升高的趨勢，在1800V時薄膜最為平整且致密。薄膜與基體的結合強度隨電壓增加而降低，高電壓下內應力顯著增大。薄膜硬度和彈性模量隨電壓先升高后降...

鋯摻雜氧化鎂-金薄膜二次電子發射性能研究

摘要：隨著真空電子技術的發展，一系列儀器設備需利用高增益、快響應、長壽命的電子倍增器來提升綜合性能。為滿足真空電子領域對高性能電子倍增器的需求，本文研究了一種基于鋯摻雜的氧化鎂-金薄膜。利用Materials Studio軟件的CASTEP模塊對MgO摻雜Zr的情況進行第一性原理計算，分析幾何優化后超晶胞的電子結構得出，進行Zr摻雜后晶體禁帶寬度變窄、特定晶面的功函數降低，為后續實驗提供支撐。利用磁控濺...

低真空節流元件內顆粒團聚與沉積仿真研究

摘要：本研究通過數值模擬的方法研究了低真空條件下（4000 Pa）UF₆氣流中的亞微米UO₂F₂顆粒（0.2 μm和1 μm）在管道內的團聚和沉積特性。在歐拉-拉格朗日框架下構建了用于描述氣固兩相流中顆粒團聚和沉積的動力學模型，其中團聚模型考慮了湍流團聚和布朗團聚，沉積模型是基于能量守恒的臨界速度模型。在此基礎上研究了節流件結構、氣體流量...

W波段修正矩形環對角雙桿行波管研究

摘要：當代真空電子技術的發展，對行波管的工作頻段、工作帶寬以及電子效率提出了更高的要求。為了迎接下一代衛星通信領域里新的挑戰，本文開展W波段修正矩形環對角雙桿慢波結構行波管研究。在詳細分析行波管慢波結構的高頻特性基礎上，獲得了平坦色散、高互作用阻抗的矩形環對角雙桿慢波結構參數，而采用相對較細的連接桿可以獲得更大的互作用阻抗。采用側面共面輸入輸出耦合器，在70-110GHz頻帶范圍內獲得了S_11...

弧形轉子的葉片弧度對套軸式對轉水力空化反應器空化性能影響的研究

摘要：水力空化技術是一種新型高效氧化技術，廣泛應用于工業廢水處理、能量轉化和環境保護，具有成本低、能效高、操作簡便等優點。本文根據實驗室已有的套軸式對轉水力空化反應器，提出三種不同弧度的弧形轉子，研究葉片弧度和轉速對套軸式對轉水力空化反應器性能的影響，利用Fluent軟件進行了模擬計算和參數對比分析。結果顯示，葉片弧度與轉速共同影響空化表現。2400r/min時，60°葉片空化最強但區域集中，空化體積為...

基于PIC-MCC方法對濺射離子泵放電過程的研究

摘要：濺射離子泵抽氣性能依賴于復雜的放電過程，涉及粒子碰撞、氣體電離等微觀機制，直接影響其電離效率、抽速及低氣壓下的穩定性和壽命。傳統實驗方法成本高、條件苛刻，而數值模擬高效可控，其中粒子模擬方法因其較高精度和對非平衡態的適用性已成為研究放電過程的重要手段。現有研究多聚焦宏觀參數，缺乏對帶電粒子微觀運動和電磁場動態影響的深入分析。本文采用粒子網格法（PIC）結合蒙特卡洛碰撞（MCC）方法，通過VSim軟...

動態吸脫附效應對空間引力波慣性傳感器殘余氣體噪聲的影響

摘要：殘余氣體噪聲是限制空間引力波慣性傳感器測量精度的重要因素，對空間引力波探測至關重要。空間引力波慣性傳感器在軌運行時殘余氣體主要為氫氣和水分子，研究難點在于水分子殘余噪聲的評估。水分子在金屬表面滯留時間跨度長，可達10^-3 s到10⁵ s，使得其施加在測試質量上的沖量間隔拉長，對0.1 mHz到100 mHz低頻引力波信號產生干擾，即水分子的動態吸脫附效應...

地外星球中甲烷來源檢測方法

摘要：尋找地外生命跡象是當前深空探測的核心目標。甲烷(CH₄)作為結構最簡單的有機物，不僅是行星中復雜有機物合成的前體，也是示蹤生命活動與地質演化過程的核心標志物，因此對其來源的檢測分析具有重大意義。不同成因機制賦予了甲烷獨特的同位素特征，使得同位素組成成為判別其來源的關鍵。此篇綜述首先介紹地球上甲烷的來源與分析依據，重點對比了適用于深空探測任務的原位光譜與質譜探測技術，以及基于采...

面向寬高度域的溫壓環境模擬：設計與試驗驗證

摘要：針對現有環境模擬設備難以實現寬高度域溫壓連續耦合控制的難題，設計并研制了一套寬高度域溫壓環境模擬系統。系統采用寬壓力范圍分段協同壓力控制架構，提出多模態溫度控制方法，實現寬高度域的溫壓環境模擬。實驗驗證表明：系統壓力控制范圍達5×10??Pa至10?Pa，常壓控制精度可達0.03%，5.5kPa至常壓控制精度優于±0.3%，0.01Pa至5.5kPa控制精度優于±10%；溫度范圍-173℃至+60...

基于光腔衰蕩吸收光譜技術的極小真空分壓力校準設備研究進展

摘要：為進一步降低真空分壓力的測量下限并解決傳統真空計量儀器周期性校準等問題，開始采用光量子技術進行真空分壓力的測量與校準。該方法基于光腔衰蕩吸收光譜（CRDS）技術實現氣體吸收系數的高精度測量，并依據相關公式反演氣體分子數密度，進而獲得對應氣體的真空分壓力量值。文章基于CRDS技術發展，系統梳理了光腔衰蕩吸收光譜技術的出現與發展過程，展示了其在真空分壓力領域的非侵入、高靈敏度、免校準等獨特優勢，并通過...

基于雙矩形密封圈超高真空差分旋轉機構設計與實驗

摘要：本文針對超高真空（UHV）設備實現從大氣環境到超高真空環境可靠過渡，同時提供360°連續、精密旋轉運動的使用需求，采用帶尖角的矩形密封圈并設計了相應的旋轉差分密封機構。利用有限元分析軟件，對常用的O形密封圈與帶尖角矩形密封圈表面接觸應力進行了分析，對比相似最大表面接觸應力下阻力的關系，并搭建實驗系統研究單膠圈密封和差分密封在靜態和旋轉運動情況下的真空密封性能。結果表明帶尖角的矩形密封圈在動密封方面...

基于質譜法的水蒸氣透過率測試系統設計及實驗研究

摘要：水蒸氣透過率是評估薄膜阻隔性能的關鍵技術指標，目前常用的檢測方法精度較低，測量量程有限。基于氣體分子滲透理論，開展了不同溫濕度真空環境下的水蒸氣透過薄膜的吸附、溶解、滲透、擴散及脫附的物理過程的研究，分析了阻隔性能的測試方法及其測試系統的基本特征，提出以質譜法分析技術為核心的高精度水蒸氣透過率測試系統設計方案。開發了測試系統裝置，實現了系統經針閥微量取樣、四極質譜儀精確測量透過薄膜的水蒸氣分壓，通...

新型非對稱變間隙渦旋齒型線設計及內部流動特性實驗研究

摘要：現有非對稱式渦旋結構存在工作腔壓力不平衡以及和排氣口壓力波動的問題，在此背景下開展開渦旋真空泵型線的研究，將對稱式渦旋型線里中的組合型線應用到非對稱渦旋型線中，構建出新型非對稱渦旋型，提出解決嚙合難題的非對稱式圓弧修正法來解決嚙合難題，設計非對稱變間隙渦旋齒型線曲線方程，并提出了非對稱式渦旋真空泵型線中為了保證渦旋機械能夠高效穩定地運行，兩組工作腔壓力不等的情況可以借助梯度變化的嚙合間隙來得到改善...

海風直流匯集系統用直流斷路器中真空觸頭間隙磁場特性研究

摘要：面向海上風電直流匯集系統的經濟型、緊湊化振蕩式直流斷路器，其所配置真空開關的觸頭結構形式對整體開斷性能具有關鍵影響。觸頭間隙的磁場分布特性不僅決定了對真空電弧的調控能力，還直接關系到弧后介質的恢復特性。為此，本文建立了兩種典型的觸頭結構模型，利用多物理場仿真方法研究了其在直流開斷電流作用下的磁場分布規律，并與交流條件下的特性進行了對比分析。研究表明，縱磁觸頭在直流開斷工況下的開斷能力削弱較為明顯，...

氣體分析儀可靠性提升的關鍵技術和設計研究

摘要：針對氣體分析儀在復雜應用場景下對可靠性、穩定性及檢測性能的高要求，文章以全國產化設計的大質量數（1～1000 amu）四極質譜計為核心，研制了用于氣體成分分析的氣體分析儀。為提升儀器綜合性能，從寬變壓精準進樣方法、射頻電源優化、質譜掃描模式改進等關鍵環節開展設計。實現常壓的氣體樣品精確進樣，解決測試質量歧視問題，提高了混合氣體分辨能力。性能測試結果表明，儀器穩定性測試結果為2.98%，重復性測試結...

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