【雜志簡(jiǎn)介】

　　《真空科學(xué)與技術(shù)》主要刊登真空技術(shù)、表面與界面物理與化學(xué)、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學(xué)與工藝等。

　　主要欄目有：學(xué)術(shù)論文、綜述評(píng)論、技術(shù)交流、工業(yè)技術(shù)、科研動(dòng)態(tài)與學(xué)術(shù)活動(dòng)、快報(bào)等。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄　該刊被以下數(shù)據(jù)庫收錄：

　　CA 化學(xué)文摘(美)(2009)

　　SA 科學(xué)文摘(英)(2009)

　　CBST 科學(xué)技術(shù)文獻(xiàn)速報(bào)(日)(2009)

　　EI 工程索引(美)(2009)

　　中國科學(xué)引文數(shù)據(jù)庫(CSCD—2008)

　　【核心期刊】

　　中文核心期刊(2008)

　　中文核心期刊(2004)

　　中文核心期刊(2000)

　　中文核心期刊(1996)

　　【欄目設(shè)置】

　　主要欄目有：學(xué)術(shù)論文、綜述評(píng)論、技術(shù)交流、工業(yè)技術(shù)、科研動(dòng)態(tài)與學(xué)術(shù)活動(dòng)、快報(bào)等。

　　雜志優(yōu)秀目錄參考：

　　容性耦合等離子體腔室放電特性仿真研究 楊旺，劉學(xué)平，夏煥雄，向東，牟鵬，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng

　　用Langmuir探針法標(biāo)定的發(fā)射光譜法診斷等離子體電子密度及分布 陳宗勝，林志丹，時(shí)家明，馬麗芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang

　　基于PEM和模糊PI的反應(yīng)磁控濺射非線性控制方法 張軍，葉敏，張新榮，張道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei

　　應(yīng)用于等離子體破裂防護(hù)的雙渦流驅(qū)動(dòng)快速充氣閥的研制 莊會(huì)東，張曉東，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong

　　多模式旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)對(duì)電弧離子鍍弧斑放電的影響分析 郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，謝婷婷，王向紅，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong

　　高碳錳鐵預(yù)氧化—真空脫碳制備低碳錳鐵熱力學(xué)分析及實(shí)驗(yàn)研究 徐寶強(qiáng)，馬永博，楊斌，劉大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun

　　TiO2真空碳熱反應(yīng)及可溶性TiO陽極電解過程研究 趙坤，王耀武，陳昪，李應(yīng)龍，馮乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，F(xiàn)eng Naixiang

　　氣相合金化制備鎂鋅二元合金的研究 牛立斌，許臻，彭建洪，王曉剛，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，F(xiàn)an Zimin

　　氧化鋁真空碳熱還原氯化歧化過程中二氯化鋁行為研究 盧勇，周岳珍，陳秀敏，舒凱，高騰飛，郁青春，劉大春，楊斌，徐寶強(qiáng)

　　磁控濺射制備Er3+摻雜Al2O3薄膜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光特性 王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie

　　Ti6Al4V磁控濺射沉積Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究 郭楊陽，田偉紅，黃曉波，張翔宇，李軒鵬，范愛蘭，唐賓，劉小萍

　　真空蒸鍍Ag2O/HDPE膜對(duì)奶酪的保鮮性研究 李亞娜，徐偉民，張國全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan

　　N離子注入對(duì)TiN薄膜的組織及性能的影響 馮軍，金凡亞，童洪輝，但敏，沈麗如，陳美艷，鄧雉，賴新春

　　交通類論文發(fā)表：接觸網(wǎng)作業(yè)車制動(dòng)閘瓦偏磨原因分析及改進(jìn)

　　摘　要：接觸網(wǎng)作業(yè)車是電氣化鐵路接觸網(wǎng)日常維修、大修、事故搶修和施工的重要機(jī)具。其作業(yè)車制動(dòng)系統(tǒng)性能好壞，將直接影響其行車安全。筆者結(jié)合多年的現(xiàn)場(chǎng)檢修工作經(jīng)驗(yàn)與專業(yè)理論知識(shí)，通過對(duì)接觸網(wǎng)作業(yè)車制動(dòng)閘瓦偏磨原因分析，采取科學(xué)有效措施，并在作業(yè)車上進(jìn)行成功改造，使制動(dòng)閘瓦偏磨問題得到徹底解決。

　　關(guān)鍵詞：閘瓦偏磨,接觸網(wǎng)原因,基礎(chǔ)制動(dòng),措施

　　隨著電氣化鐵道向高速、重載方向快速發(fā)展，對(duì)接觸網(wǎng)可靠性的要求越來越高，也對(duì)接觸網(wǎng)作業(yè)車行車安全提出更高要求。隨著我段接觸網(wǎng)作業(yè)車使用年限增加，制動(dòng)閘瓦偏磨越來越嚴(yán)重，直接影響行車安全。

　　真空科學(xué)與技術(shù)最新期刊目錄

螺桿真空泵抽氣性能預(yù)測(cè)模型與分析方法研究

摘要：隨著半導(dǎo)體等領(lǐng)域?qū)φ婵窄h(huán)境潔凈度要求的提高，干式螺桿真空泵憑其無油、高抽速、節(jié)能等特性被廣泛應(yīng)用。通過數(shù)值模型實(shí)現(xiàn)對(duì)螺桿真空泵的抽氣性能預(yù)測(cè)，是其研發(fā)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。已有螺桿真空泵抽速性能預(yù)測(cè)的腔室模型，不能正確給出氣體在泵內(nèi)輸運(yùn)過程的壓強(qiáng)連續(xù)變化曲線。為此，本文提出了一種新的“動(dòng)態(tài)腔室模型”，用于螺桿真空泵的抽氣性能預(yù)測(cè)研究。通過與實(shí)驗(yàn)抽速曲線的對(duì)比，驗(yàn)證了本文提出的新模型能夠更精確地預(yù)測(cè)螺桿真空泵...

EAST裝置低Z材料粉末注入系統(tǒng)振動(dòng)與流量控制研究

摘要：在磁約束核聚變?nèi)�超�?dǎo)托卡馬克（EAST）等離子體放電中，通過實(shí)時(shí)低Z粉末材料注入可以進(jìn)行實(shí)時(shí)壁處理，有效地控制來自第一壁的雜質(zhì)和燃料粒子再循環(huán)，促進(jìn)高約束模式放電的獲得與穩(wěn)定維持。粉末注入系統(tǒng)通過壓電陶瓷片在特定頻率正弦波電壓驅(qū)動(dòng)下，產(chǎn)生共振從而驅(qū)動(dòng)粉末流動(dòng)，其振動(dòng)特性直接關(guān)系到粉末注入的流量及穩(wěn)定性等。本文重點(diǎn)研究了壓電陶瓷片的振動(dòng)模態(tài)、共振頻率及其粉末流量的定標(biāo)關(guān)系。首先，單一壓電陶瓷片振動(dòng)模...

油氣回收真空泵壓縮機(jī)性能智能測(cè)試系統(tǒng)研究及工程應(yīng)用

摘要：油氣回收是資源循環(huán)利用、環(huán)境保護(hù)、持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力，更是全球治理和社會(huì)發(fā)展需要。化石能源開采、輸運(yùn)、使用過程中揮發(fā)性油氣不斷產(chǎn)生，收集處理這些氣體的裝備涉及到真空泵、壓縮機(jī)等。抽速和真空度是真空-壓縮機(jī)最重要、互相關(guān)聯(lián)參量，不同類型的真空泵有不同的氣量測(cè)定理論、方法和規(guī)范。定壓法和定質(zhì)量流量是最常用的方法，傳統(tǒng)測(cè)量方法采用手動(dòng)控制測(cè)量元件，取得原始參數(shù)，再套入標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范公式計(jì)算出真空泵和壓縮機(jī)的流量...

真空下陶瓷的摩擦放氣現(xiàn)象及機(jī)理研究

摘要：壓電陶瓷電機(jī)憑借高精度控制與無潤滑系統(tǒng)的特性，在高真空乃至超高真空系統(tǒng)中應(yīng)用日益廣泛。然而，依靠摩擦驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷電機(jī)在運(yùn)行時(shí)，不可避免地會(huì)產(chǎn)生摩擦放氣現(xiàn)象，排出的氣體將污染潔凈的真空環(huán)境。因此，開展陶瓷在真空條件下的摩擦放氣實(shí)驗(yàn)，研究其放氣現(xiàn)象與機(jī)理，是有效控制摩擦放氣影響的關(guān)鍵。本文以常用的96% 氧化鋁陶瓷片為研究對(duì)象，在不同載荷、滑動(dòng)速度和滑動(dòng)距離的變量下，測(cè)定其摩擦放氣量；運(yùn)用RGA 質(zhì)...

真空旁路開關(guān)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)特性不確定性分析

摘要：本文以3.6 kV/2500 A真空旁路開關(guān)適配單穩(wěn)態(tài)永磁操動(dòng)機(jī)構(gòu)為研究對(duì)象，首先構(gòu)建其三維物理數(shù)學(xué)模型，并通過有限元法開展數(shù)值模擬，聚焦機(jī)構(gòu)服役過程中由于結(jié)構(gòu)參量和外加驅(qū)動(dòng)激勵(lì)存在的不確定性因素，采用混沌多項(xiàng)式展開（PCE）法分析結(jié)構(gòu)參數(shù)和外加激勵(lì)的變化對(duì)機(jī)構(gòu)平均速度與末速度概率分布的影響規(guī)律，并給出機(jī)構(gòu)穩(wěn)定運(yùn)行所需的結(jié)構(gòu)參數(shù)與激勵(lì)參數(shù)可靠區(qū)間閾值

同步輻射儲(chǔ)存環(huán)束線管封裝平臺(tái)設(shè)計(jì)與研究

摘要：為滿足儲(chǔ)存環(huán)束線管在組裝前的封裝保護(hù)需求，本研究開發(fā)了一套高效多通道束線管封裝平臺(tái)。平臺(tái)采用模塊化三腔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，并通過高真空插板閥實(shí)現(xiàn)靈活隔離與聯(lián)通，使其既能在調(diào)試階段進(jìn)行整體抽氣，又可在封裝階段靈活切換抽氣與充氣路徑；同時(shí)，平臺(tái)支持單批次同步封裝4根束線管，并配置多泵組協(xié)同抽氣系統(tǒng)，從而有效避免了傳統(tǒng)系統(tǒng)頻繁啟停的問題，實(shí)現(xiàn)高效連續(xù)封裝。本文對(duì)平臺(tái)真空腔在抽真空、烘烤抽氣和充氣封裝三種典型工況下...

基于阿倫尼烏斯公式的不同材料放氣加速因子研究

摘要：在材料放氣的研究中，阿倫尼烏斯公式常用于加速壽命實(shí)驗(yàn)的加速因子計(jì)算，利用活化能定量表征其與溫度之間的關(guān)系。然而，當(dāng)前研究中往往忽略了放氣率在實(shí)驗(yàn)過程中的變化，導(dǎo)致理論模型與實(shí)際結(jié)果存在偏差。本文以阿倫尼烏斯公式為基礎(chǔ)，從理論上分別探討了其與金屬材料（304 不銹鋼）和聚合物材料（聚酰亞胺）放氣機(jī)理間的聯(lián)系。結(jié)合材料放氣的活化能與衰減因子，本文建立了統(tǒng)一的加速因子數(shù)學(xué)模型，并通過兩種實(shí)驗(yàn)方法（流導(dǎo)法...

紫外輻照對(duì)聚酰亞胺薄膜放氣率的影響

摘要：真空系統(tǒng)中材料的放氣率是影響其真空度的關(guān)鍵因素。聚酰亞胺（PI）因其優(yōu)異性能廣泛應(yīng)用于真空領(lǐng)域，但其表面和內(nèi)部會(huì)吸附溶解大量氣體，導(dǎo)致未經(jīng)處理的PI放氣率可達(dá)10^-6 Pa·m³/(s·cm²)量級(jí)。本文以聚酰亞胺薄膜為研究對(duì)象，系統(tǒng)探究紫外輻照對(duì)其放氣行為的調(diào)控機(jī)制。通過設(shè)計(jì)波長(zhǎng)（185 nm、254 nm、365 nm）、功率（...

亞微米碳基薄膜抑制二次電子發(fā)射效應(yīng)及其對(duì)微放電閾值的調(diào)控

摘要：在微波場(chǎng)作用下，空間電子諧振倍增引起的微放電效應(yīng)是導(dǎo)致航天器性能下降的重要因素。碳薄膜通過抑制二次電子發(fā)射，對(duì)降低微放電效應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)具有顯著潛力。本研究采用磁控濺射法，通過控制濺射功率在銅表面沉積不同厚度的亞微米碳基薄膜，測(cè)量其二次電子發(fā)射系數(shù)（Secondary electron yield，SEY），采用掃描電子顯微鏡對(duì)樣品表面形貌、成分、薄膜厚度進(jìn)行分析表征，通過CST Studio Suite...

一種微針尖環(huán)形陣列陰極電子槍

摘要：本文設(shè)計(jì)了一種場(chǎng)發(fā)射碳納米管冷陰極微焦點(diǎn)電子槍，陰極采用圓錐形狀沿對(duì)稱軸一分為二，切面為底面，并在圓柱形凹槽內(nèi)均勻分布，組成環(huán)形陣列，該設(shè)計(jì)呈凹面形狀，具備預(yù)聚焦效果，為后續(xù)聚焦系統(tǒng)提供了更為理想的入射條件。此外，設(shè)計(jì)中還包括菱形柵孔柵網(wǎng)和雙曲聚焦電極。陰極采用微針尖設(shè)計(jì)，顯著增強(qiáng)尖端的電場(chǎng)強(qiáng)度，從而提高發(fā)射電流密度并降低開啟電壓；菱形柵孔柵網(wǎng)則能夠?qū)崿F(xiàn)較高的電子通過率；雙曲聚焦電極通過優(yōu)化電場(chǎng)分...

束流轟擊角度與材料解吸特性關(guān)系研究

摘要：針對(duì)材料解吸導(dǎo)致的真空劣化問題，重點(diǎn)研究了轟擊角度與材料解吸率的關(guān)聯(lián)機(jī)制。通過自主研發(fā)可調(diào)角度的多樣靶材解吸率測(cè)試裝置，采用143 keV/u Bi³²⁺離子束對(duì)氧化鋯陶瓷、陶瓷鍍金及不銹鋼鍍金三類材料進(jìn)行解吸特性研究。結(jié)果表明：材料解吸率隨入射角度增加呈現(xiàn)顯著增長(zhǎng)趨勢(shì)，束流轟擊靶材時(shí)H₂占比迅速增加；表面鍍金處理可使氧化鋯樣件解吸率降低約50%，而不同...

應(yīng)用于全固態(tài)薄膜電池的硫薄膜正極

摘要：隨著物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的來臨，人們對(duì)于可與集成電路兼容制造的微型電源的需求日益迫切。全固態(tài)薄膜電池（All-solid-state thin-film batteries，ASSTFBs）采用薄膜制造工藝而成為能與集成電路集成制造的理想片上電源。鋰硫電池具有極高的理論能量密度，若將其應(yīng)用于ASSTFBs，則有望大幅提升其能量密度。然而，單質(zhì)硫的低熔點(diǎn)以及固有的遲滯動(dòng)力學(xué)導(dǎo)致了研究人員對(duì)硫薄膜的制備經(jīng)驗(yàn)不足...

襯底修飾層誘導(dǎo)的高覆蓋率單層MoS₂晶圓生長(zhǎng)研究

摘要：作為后摩爾時(shí)代集成電路發(fā)展的關(guān)鍵候選材料之一，二維二硫化鉬（MoS₂）晶圓級(jí)高質(zhì)量制備是其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的重要基礎(chǔ)。當(dāng)前基于藍(lán)寶石襯底的化學(xué)氣相沉積（CVD）法雖可實(shí)現(xiàn)大尺寸MoS₂薄膜生長(zhǎng)，但受限于氣相MoO₃在藍(lán)寶石AlO界面上吸附能力較弱導(dǎo)致的鉬源不均勻沉積，造成了薄膜翹曲和裂紋缺陷等問題。研究提出了一種藍(lán)寶石襯底表面預(yù)制備Al-...

低溫技術(shù)的發(fā)展及未來趨勢(shì)

摘要：工業(yè)革命以來，隨著氮、氫和氦等氣體成功液化，同時(shí)超導(dǎo)現(xiàn)象的發(fā)現(xiàn)，低溫技術(shù)得以迅速發(fā)展。文章回顧了低溫技術(shù)的發(fā)展歷史，從被動(dòng)利用天然冰到熱力學(xué)理論建立與主動(dòng)制冷技術(shù)的突破，特別是Joule-Thomson效應(yīng)與超導(dǎo)現(xiàn)象的發(fā)現(xiàn)；介紹了低溫技術(shù)的基本工作原理，包括絕熱膨脹、節(jié)流效應(yīng)和蒸氣壓縮制冷循環(huán)，并重點(diǎn)描述了G-M制冷機(jī)、脈管制冷機(jī)和稀釋制冷機(jī)典型設(shè)備；闡述了低溫技術(shù)在科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)、航空航天和...

電子束光刻技術(shù)介紹與展望

摘要：電子束光刻（Electron Beam Lithography,EBL）作為能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米乃至納米尺度圖形化制造的常用微納加工技術(shù)，憑借其高的加工精度與靈活的圖形加工能力，在微納制造領(lǐng)域扮演著至關(guān)重要的角色。文章系統(tǒng)性地回顧了電子束光刻技術(shù)的基本物理原理及設(shè)備發(fā)展脈絡(luò)。重點(diǎn)闡述了早期基于掃描電子顯微鏡的高斯束EBL設(shè)備，以及為突破寫入效率和精度瓶頸而演進(jìn)的商用變形束與前沿的多束EBL系統(tǒng)，并在此基...

編委按

摘要：<正>2022年，中國真空學(xué)會(huì)提出的“如何實(shí)現(xiàn)原子尺度精準(zhǔn)制備和結(jié)構(gòu)調(diào)控構(gòu)建未來信息功能器件"這一前沿科學(xué)問題，成功入選中國科協(xié)當(dāng)年發(fā)布的十大關(guān)鍵科學(xué)問題。該問題聚焦于原子尺度下的新材料創(chuàng)制、新器件構(gòu)筑以及跨尺度物性調(diào)控，深刻回應(yīng)了新一輪信息技術(shù)革命背景下我國材料、納米和信息等多學(xué)科交叉前沿的發(fā)展需求。這一科學(xué)問題的提出，源于信息器件微縮化趨勢(shì)帶來的根本性挑戰(zhàn)。隨著傳統(tǒng)硅基器件逐步逼近...

基于超導(dǎo)高重頻加速器的大連先進(jìn)光源束流測(cè)試平臺(tái)真空系統(tǒng)

摘要：大連先進(jìn)光源（DALS）是規(guī)劃中基于超導(dǎo)連續(xù)波直線加速器架構(gòu)的極紫外自由電子激光綜合裝置，其核心目標(biāo)是通過1 GeV電子束流產(chǎn)生重復(fù)頻率1 MHz、波長(zhǎng)覆蓋6.5～180 nm的高亮度自由電子激光裝置。作為DALS建設(shè)的關(guān)鍵預(yù)研項(xiàng)目，DALS束流測(cè)試平臺(tái)旨在突破高品質(zhì)束流生成的核心技術(shù)瓶頸。本工作面向使用超導(dǎo)高重頻加速器的束流測(cè)試平臺(tái)常溫段真空系統(tǒng)的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)及關(guān)鍵技術(shù)，基于束流物理參數(shù)需求，通...

大面積微帶天線真空汽相焊接工藝研究

摘要：采用常規(guī)曲線焊接微帶天線易導(dǎo)致焊接強(qiáng)度不足，同時(shí)大面積微帶天線翹曲嚴(yán)重?zé)o法保證焊接強(qiáng)度，為實(shí)現(xiàn)大面積微帶天線可靠的機(jī)械連接，基于多相流VOF方程建立真空汽相焊接模型，預(yù)測(cè)微帶天線真空汽相焊接時(shí)的溫度場(chǎng)，通過單因素法確定合適的焊接工藝窗口，測(cè)溫?cái)?shù)據(jù)顯示焊接仿真誤差不超過3.5%，試驗(yàn)測(cè)溫顯示微帶天線中央比四周高20℃，微帶天線與框架焊接空洞率低于10%，表明建立的焊接模型預(yù)測(cè)溫度場(chǎng)較為準(zhǔn)確，可為焊接...

八面體模型理論應(yīng)用：泡沫陶瓷的比表面積

摘要：基于多孔材料八面體結(jié)構(gòu)模型，通過適當(dāng)?shù)臄?shù)學(xué)處理方法，作者獲得了此類材料的比表面積計(jì)算公式。本文通過若干泡沫陶瓷產(chǎn)品比表面積的實(shí)踐研究，對(duì)該計(jì)算公式進(jìn)行了系列的實(shí)踐應(yīng)用和驗(yàn)證。既涉及不同材質(zhì)的泡沫陶瓷產(chǎn)品，也涉及不同結(jié)構(gòu)的泡沫陶瓷產(chǎn)品。研究結(jié)果顯示，本表征公式既可較好地計(jì)算不同材質(zhì)的泡沫陶瓷的比表面積，也可較好地計(jì)算不同結(jié)構(gòu)的泡沫陶瓷的比表面積。這說明本表征公式對(duì)泡沫陶瓷比表面積的計(jì)算具有良好的實(shí)踐...

超導(dǎo)加速模組水平測(cè)試平臺(tái)真空泵站結(jié)構(gòu)分析與優(yōu)化

摘要：文章以超導(dǎo)加速模組水平測(cè)試平臺(tái)的束流真空泵站為研究對(duì)象，開展結(jié)構(gòu)仿真分析和多目標(biāo)優(yōu)化設(shè)計(jì)，以滿足其安全性和輕量化要求。首先，基于靜力學(xué)仿真和子模型技術(shù)，分析真空泵站的強(qiáng)度和剛度并提出優(yōu)化方案。隨后，通過中心復(fù)合設(shè)計(jì)（CCD）方法和參數(shù)化仿真獲得試驗(yàn)樣本空間，建立克里金（Kriging）代理模型并進(jìn)行響應(yīng)面分析。最后，采用多目標(biāo)遺傳算法（MOGA）求得帕累托（Pareto）最優(yōu)解，并對(duì)優(yōu)選方案進(jìn)行仿...

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