【雜志簡(jiǎn)介】

　　《測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)》(ISSN1671-7449cn14-1301/TP)創(chuàng)刊于1986年，由“中國(guó)兵工學(xué)會(huì)”與“中北大學(xué)”合辦，是“中國(guó)兵工學(xué)會(huì)測(cè)試技術(shù)學(xué)會(huì)”會(huì)刊、中國(guó)科技核心期刊。2002年起，《測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)》連年被評(píng)為山西省一級(jí)期刊。2009年《測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)》獲全國(guó)高校科技期刊優(yōu)秀編輯質(zhì)量獎(jiǎng)。

　　中北大學(xué)“儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”是“中國(guó)兵工學(xué)會(huì)測(cè)試技術(shù)學(xué)會(huì)”掛靠單位，《測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)》刊登有關(guān)測(cè)試技術(shù)的重點(diǎn)科研項(xiàng)目、基金項(xiàng)目的研究成果以及兵器及民用測(cè)試的應(yīng)用技術(shù)。具體內(nèi)容為：聲與超聲測(cè)量;在線測(cè)試;測(cè)量?jī)x器;ADC，DAC和數(shù)據(jù)采集;實(shí)驗(yàn)技術(shù)與標(biāo)準(zhǔn);動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng);環(huán)境測(cè)量;數(shù)據(jù)壓縮;人工智能與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò);電磁測(cè)量;微波測(cè)量;測(cè)控技術(shù)與總線技術(shù);噪聲與振動(dòng)測(cè)量;遙感、遙測(cè)與遙控;VXI儀器;無損檢測(cè);光電測(cè)試;生物測(cè)試;量子測(cè)試;分析測(cè)試;材料測(cè)試;軟件測(cè)試;火炸藥測(cè)試;傳感器技術(shù);微型機(jī)械電子系統(tǒng)等。

　　本刊是由中國(guó)兵工學(xué)會(huì)與中北大學(xué)聯(lián)合主辦，是“中國(guó)兵工學(xué)會(huì)測(cè)試技術(shù)學(xué)會(huì)”會(huì)刊，主要刊登有關(guān)測(cè)試技術(shù)的重點(diǎn)科研項(xiàng)目、基金項(xiàng)目的研究成果以及兵器及民用測(cè)試的應(yīng)用技術(shù)，現(xiàn)已被美國(guó)EI光盤版及俄羅斯PЖ收錄。

　　【影響因子】

　　國(guó)家新聞出版總署收錄

　　【獲獎(jiǎng)情況】

　　山西省一級(jí)期刊

　　是《中國(guó)科學(xué)引文數(shù)據(jù)庫(kù)》源刊，即中國(guó)科技核心期刊。

　　【欄目設(shè)置】

　　主要欄目：測(cè)試技術(shù)與理論研究、測(cè)量?jī)x器、聲與超聲測(cè)量、動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)、人工智能與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、測(cè)控技術(shù)與總線技術(shù)、無損檢測(cè)、傳感器技術(shù)。

　　雜志優(yōu)秀目錄參考：

　　測(cè)試技術(shù)與理論研究

　　基于數(shù)字接收機(jī)技術(shù)的RDSS通道零值測(cè)試方法 崔小準(zhǔn);畢少筠;鐘兆豐;劉天雄;王健1-6

　　基于MEMS慣性傳感器和GPS接收機(jī)組合的高動(dòng)態(tài)彈道參數(shù)遙測(cè)系統(tǒng) 桂延寧;楊燕;成紅濤;劉耀偉;郗永琳7-13

　　磁性目標(biāo)的單點(diǎn)模量測(cè)距方法 萬成彪;羅詩(shī)途;王偉;張琦;翁飛兵14-20

　　38mm軟體變形彈致傷效能評(píng)估 蒲利森;徐鵬;李緒強(qiáng);張正飛;豆寶峰21-26

　　數(shù)據(jù)采集與圖像處理

　　基于物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的導(dǎo)引裝置虛擬測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì) 高樺;盛偉強(qiáng);李江;李強(qiáng)27-33

　　一種基底細(xì)胞概略檢測(cè)方法 汪傳忠;王會(huì);武海燕34-38

　　紅外視頻監(jiān)控中的人體目標(biāo)檢測(cè) 汪金禮;王皓;袁寶紅;劉鴻濤;蘇亞輝;尹濤39-43

　　戰(zhàn)斗部室內(nèi)動(dòng)爆沖擊波超壓測(cè)試數(shù)據(jù)處理方法 李建昌;門麗娟;雍順寧44-48

　　基于ARM的高可靠伺服控制平臺(tái)設(shè)計(jì) 楊軍;李寒49-55

　　“遙存結(jié)合”測(cè)試方法在火箭橇試驗(yàn)中的應(yīng)用 陳化良;胡杰;王茜;張劍波56-58

　　光電信息與傳感技術(shù)

　　高速攝像機(jī)測(cè)試目標(biāo)運(yùn)動(dòng)軌跡的精度分析 王斌;賈粉粉59-63

　　一種全向震動(dòng)探測(cè)傳感器設(shè)計(jì) 李劍;姚金杰;韓焱64-68

　　核心論文發(fā)表：三本院校軟件工程實(shí)踐教學(xué)的研究與實(shí)踐

　　摘 要：結(jié)合國(guó)家對(duì)軟件人才的需求，針對(duì)軟件工程專業(yè)實(shí)踐教學(xué)現(xiàn)狀，分析了三本院校軟件工程實(shí)踐教學(xué)的問題，針對(duì)應(yīng)用型人才培養(yǎng)的目標(biāo)，該文從課程教學(xué)計(jì)劃的制訂、實(shí)例教學(xué)、實(shí)驗(yàn)教學(xué)、社會(huì)實(shí)踐教學(xué)幾個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行了研究，提出了相關(guān)的實(shí)踐教學(xué)理論及改革措施。

　　關(guān)鍵詞：軟件工程,應(yīng)用型人才,項(xiàng)目案例,實(shí)踐教學(xué)

　　1 引言(Introduction)

　　軟件工程作為計(jì)算機(jī)和軟件本科專業(yè)最綜合最系統(tǒng)的一門課程，在促進(jìn)學(xué)生鞏固之前學(xué)過的專業(yè)知識(shí)、掌握軟件開發(fā)過程及方法、理解軟件工程實(shí)踐等方面發(fā)揮了積極作用。但高校特別是三本院校在軟件工程課程講授時(shí)理論脫離實(shí)際，片面地強(qiáng)調(diào)理論學(xué)習(xí)而忽視實(shí)踐能力的培養(yǎng)，理論部分過于抽象，在課程實(shí)驗(yàn)中，沒有把握好課程在人才培養(yǎng)的橋梁和作用，缺乏貫穿縱向知識(shí)體系和學(xué)科的整體理解和思想，往往只是本課程章節(jié)或課程的綜合理論驗(yàn)證，采用虛擬的實(shí)驗(yàn)案例，甚至將其設(shè)計(jì)成為章節(jié)內(nèi)容驗(yàn)證練習(xí)，而不是圍繞著軟件工程整本書的整個(gè)知識(shí)體系進(jìn)行實(shí)際開發(fā)項(xiàng)目。導(dǎo)致學(xué)生學(xué)完軟件工程課程后還是不能理解軟件生命周期、開發(fā)過程及相應(yīng)方法，與社會(huì)對(duì)軟件人才的需求存在差距，學(xué)生難以很快融入現(xiàn)代IT企業(yè)的運(yùn)作[1]。如何培養(yǎng)起適合信息產(chǎn)業(yè)所需要的應(yīng)用型、實(shí)踐型人才，已經(jīng)成為亟待解決的問題。因此要想將學(xué)生培養(yǎng)成為符合社會(huì)需要的軟件工程人才，就應(yīng)當(dāng)改變目前的局面，全面考慮軟件工程課程建設(shè)。

　　測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)最新期刊目錄

量子傳感與精密測(cè)量技術(shù)——極限環(huán)境光電動(dòng)態(tài)測(cè)試技術(shù)與儀器全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

摘要：<正>面向物理量量子測(cè)量精度極限和量子器件工程化應(yīng)用需求,服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略工程和地方科技產(chǎn)業(yè),重點(diǎn)突破了量子測(cè)量理論建模、功能設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、器件制造、儀器集成及工程應(yīng)用等核心關(guān)鍵技術(shù),研制了系列光量子陀螺、加計(jì)、磁強(qiáng)計(jì)、聲傳感器及量子功能材料自旋參量精密測(cè)量?jī)x、多物理場(chǎng)量子超分辨成像儀、細(xì)胞三維溫度場(chǎng)超分辨成像儀、原子尺度結(jié)構(gòu)/力/電顯微測(cè)量?jī)x等,部分指標(biāo)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。在水下無人裝備...

專欄導(dǎo)語(yǔ)

摘要：<正>深入理解各類材料在不同服役環(huán)境下的力學(xué)行為與功能響應(yīng)，從而為高端裝備、電子器件及測(cè)試系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與優(yōu)化提供理論依據(jù)，是材料科學(xué)與工程領(lǐng)域的核心任務(wù)之一。從結(jié)構(gòu)材料的抗沖擊防護(hù)，到功能材料的電學(xué)性能調(diào)控，再到校準(zhǔn)用材料的斷裂特性精確表征，均需建立系統(tǒng)的測(cè)試方法與本構(gòu)模型。本專欄精選了3篇聚焦先進(jìn)材料性能測(cè)試與應(yīng)用的論文，涵蓋動(dòng)態(tài)力校準(zhǔn)用脆性材料斷裂特性、高鎂濃度氧化鋅鎂薄膜的鐵電性能...

《測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)》征稿簡(jiǎn)則

摘要：<正>《測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào)》(ISSN1671-7449 CN14-1301/TP)創(chuàng)刊于1986年,是由中北大學(xué)和中國(guó)兵工學(xué)會(huì)主辦的學(xué)術(shù)雙月刊,是“中國(guó)兵工學(xué)會(huì)測(cè)試技術(shù)學(xué)會(huì)”會(huì)刊�，F(xiàn)為中國(guó)科技核心期刊,科技文摘數(shù)據(jù)庫(kù)(INSPEC)、俄羅斯《文摘雜志》數(shù)據(jù)庫(kù)(Рж(AJ))、EBSCO全文數(shù)據(jù)庫(kù)收錄期刊。本刊主要刊登有關(guān)測(cè)試技術(shù)的重點(diǎn)科研項(xiàng)目、基金項(xiàng)目的研究成果以及兵器及民用測(cè)試的應(yīng)用技術(shù)...

隨機(jī)介質(zhì)中聲波走時(shí)與速度場(chǎng)參數(shù)統(tǒng)計(jì)關(guān)系研究

摘要：聲源定位技術(shù)被廣泛應(yīng)用于水下探測(cè)、地震監(jiān)測(cè)、結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)和環(huán)境聲學(xué)感知等領(lǐng)域�，F(xiàn)有聲源定位方法多建立在基于介質(zhì)均勻性的假設(shè)上，但在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中，聲波傳播的介質(zhì)都具有不同程度的隨機(jī)性，導(dǎo)致基于該假設(shè)的定位方法應(yīng)用受限。針對(duì)隨機(jī)介質(zhì)條件下的聲源定位問題，目前常被采用的手段是基于到達(dá)時(shí)間差（Time Difference of Arrival, TDOA）服從高斯分布而構(gòu)建的聲源定位方法。但在隨機(jī)介質(zhì)...

標(biāo)準(zhǔn)漸開線的雙拋物線擬合法

摘要：針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漸開線測(cè)量曲線的高精度擬合難題，提出了一種雙拋物線擬合方法，用于漸開線測(cè)量序列的參數(shù)化表征。首先，將漸開線測(cè)量曲線段分割為兩段，以擬合殘差均衡為判據(jù)尋優(yōu)方式尋找出最佳分割點(diǎn)，使分割點(diǎn)兩側(cè)的漸開線段在各自的拋物線擬合中的擬合殘差有效值最接近；然后，對(duì)最佳分割點(diǎn)兩側(cè)的漸開線測(cè)量線段分別使用拋物線擬合法進(jìn)行曲線擬合，并獲得各自的擬合參數(shù)作為本段曲線的表征參數(shù)。最后，在仿真實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)上驗(yàn)證了雙拋物線...

用于X波段寬帶RCS縮減的蜂窩狀棋盤陣列超表面設(shè)計(jì)

摘要：基于相位干涉相消原理，設(shè)計(jì)了一種基于蜂窩棋盤排列的超表面結(jié)構(gòu)，可用于X波段的寬帶雷達(dá)散射截面（Radar Cross-Section, RCS）縮減。該超表面結(jié)構(gòu)由兩種人工磁導(dǎo)體（Artificial Magnetic Conductor,AMC）單元周期性交替排列構(gòu)成，兩種AMC單元在7～12 GHz頻帶范圍內(nèi)可實(shí)現(xiàn)180°±37°的反射相位差。仿真結(jié)果表明，在6～13 GHz頻段范圍內(nèi)，該超表...

大氣環(huán)境下多模式KPFM系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)與定量表征

摘要：在大氣環(huán)境下，開爾文探針力顯微鏡（Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM）的表面電勢(shì)測(cè)量易受到探針結(jié)構(gòu)雜散電容以及空氣介質(zhì)和表面吸附水層的共同影響，導(dǎo)致空間分辨率下降和定量誤差增大。為抑制雜散電容效應(yīng)并提高測(cè)量局域性，基于統(tǒng)一的探針–樣品等效電容模型，引入雜散電容權(quán)重因子α，對(duì)幅度調(diào)制（AM-KPFM）、頻率調(diào)制（FM-KPFM）及外差調(diào)制（Heterodyne-K...

熱電堆型厚膜熱流傳感器及其封裝結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與測(cè)試

摘要：針對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室壁面、火箭噴管等狹小空間場(chǎng)合下熱流密度的精確測(cè)量問題，設(shè)計(jì)了一種微型化高溫?zé)犭姸研蜔崃鱾鞲衅骷捌浞庋b結(jié)構(gòu)。在直徑6 mm的圓形凸臺(tái)氧化鋁陶瓷基底上，采用絲網(wǎng)印刷工藝制備了以ITO、 In₂O₃為敏感層的星型熱電堆結(jié)構(gòu)，使用Al₂O₃作為熱阻層，制作了以AlN材料為主體的配套封裝。性能測(cè)試表明：所...

一種便攜式NV色心實(shí)時(shí)矢量磁場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)

摘要：提出了一種便攜式NV色心矢量磁傳感系統(tǒng)，用于實(shí)現(xiàn)三維磁場(chǎng)的快速、實(shí)時(shí)測(cè)量。該系統(tǒng)將光學(xué)檢測(cè)磁共振技術(shù)與4頻點(diǎn)跳頻策略相結(jié)合，通過實(shí)驗(yàn)標(biāo)定建立NV軸共振頻率偏移與空間磁場(chǎng)分量之間的映射關(guān)系，并引入反饋控制實(shí)現(xiàn)各NV軸共振頻率的實(shí)時(shí)鎖定與跟蹤，從而僅利用4條NV軸的磁場(chǎng)投影信息完成三維矢量磁場(chǎng)的連續(xù)重構(gòu)。系統(tǒng)采用光纖激發(fā)與熒光收集結(jié)構(gòu)將激光源與磁傳感探頭解耦，提高了系統(tǒng)集成度及其在外場(chǎng)環(huán)境中的適應(yīng)能力...

基于SSA-XGBoost的激光器輸出熱流密度預(yù)測(cè)

摘要：針對(duì)激光法熱流傳感器靜態(tài)標(biāo)定中激光參數(shù)難以精確調(diào)控導(dǎo)致熱流密度不可控、易損壞傳感器的問題，提出一種基于麻雀搜索算法優(yōu)化極限梯度提升樹（SSA-XGBoost）的激光器輸出熱流密度預(yù)測(cè)方法。搭建了包含半導(dǎo)體激光器、信號(hào)發(fā)生器、標(biāo)準(zhǔn)熱流傳感器等在內(nèi)的熱流密度測(cè)試平臺(tái)，通過實(shí)驗(yàn)探究了激光重復(fù)頻率、脈沖寬度和功率對(duì)熱流密度的影響規(guī)律。將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)作為訓(xùn)練和測(cè)試樣本，構(gòu)建SSA-XGBoost預(yù)測(cè)模型，并與B...

基于時(shí)域太陽(yáng)位置的偏振三維姿態(tài)測(cè)量方法

摘要：三維姿態(tài)測(cè)量是無人機(jī)、水下平臺(tái)及自主機(jī)器人等資源受限場(chǎng)景下的核心需求。傳統(tǒng)單偏振羅盤僅能實(shí)現(xiàn)一維航向或二維姿態(tài)解算，故提出一種基于時(shí)域太陽(yáng)位置的單偏振三維姿態(tài)測(cè)量方法，推導(dǎo)了姿態(tài)與偏振量之間的關(guān)系，建立了基于偏振角極坐標(biāo)數(shù)學(xué)模型，解決了偏振圖像抗干擾問題。通過天空偏振模式中零度帶的域變換提取太陽(yáng)位置，再結(jié)合相鄰時(shí)間幀太陽(yáng)矢量在不同坐標(biāo)系下的轉(zhuǎn)換關(guān)系，實(shí)現(xiàn)靜態(tài)條件下無外部輔助的全三維姿態(tài)獨(dú)立解算。最...

基于可編程反射超表面的貝塞爾波束產(chǎn)生研究

摘要：貝塞爾波束是一種典型的非衍射波束，近年來已成為通信、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。然而，傳統(tǒng)生成貝塞爾波束的方法存在非衍射距離較短、能量利用率較低、系統(tǒng)復(fù)雜度高等缺陷，針對(duì)上述問題，設(shè)計(jì)并制備了一種可用于生成貝塞爾波束的可編程超表面。在6.0～7.0 GHz工作頻段內(nèi)，通過外部饋電系統(tǒng)的調(diào)控，可對(duì)單元結(jié)構(gòu)上加載的變?nèi)荻�極管進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)超表面單元結(jié)構(gòu)反射相位的動(dòng)態(tài)調(diào)控，最終實(shí)現(xiàn)360°的反射相位全...

基于SOI的MEMS高溫壓力傳感器

摘要：為滿足航空航天、能源工業(yè)等領(lǐng)域在高溫、振動(dòng)等惡劣工況下的壓力測(cè)量需求，設(shè)計(jì)了一款基于絕緣體上硅（Silicon on Insulator, SOI）材料的壓阻式壓力傳感器。該傳感器采用SOI材料的埋氧層實(shí)現(xiàn)壓敏電阻與基底的電隔離，解決了傳統(tǒng)硅基傳感器在高溫下因PN結(jié)漏電導(dǎo)致的性能退化問題。傳感器核心設(shè)計(jì)包括：采用E型島膜結(jié)構(gòu)作為彈性敏感薄膜，通過有限元仿真優(yōu)化確定膜片尺寸，在保證靈敏度的同時(shí)降低非...

基于高階EP的微光機(jī)電高靈敏角速率傳感方法

摘要：隨著無人潛器等無人平臺(tái)的快速發(fā)展,對(duì)小體積、高靈敏兼具的陀螺提出了更高的要求。高階奇異點(diǎn)（Exceptional Point,EP）在微擾下呈現(xiàn)非線性響應(yīng),在小轉(zhuǎn)速下展現(xiàn)出極高的靈敏度,極具應(yīng)用潛力。設(shè)計(jì)了高階EP微光機(jī)電系統(tǒng),將高階EIP結(jié)構(gòu)與微光機(jī)電系統(tǒng)結(jié)合,利用三階EP對(duì)微擾的非線性效應(yīng)實(shí)現(xiàn)了高靈敏角速率測(cè)量,解決了光學(xué)讀出與諧振腔直徑成正比的不足。探究了三階EP角速率傳感系統(tǒng)在耦合擾動(dòng)下的...

基于穩(wěn)健估計(jì)的無人車磁干擾補(bǔ)償方法

摘要：地磁導(dǎo)航因其無源、穩(wěn)定和抗干擾等優(yōu)點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于無人載體自主定位與導(dǎo)航中。高質(zhì)量地磁信息獲取是實(shí)現(xiàn)精確導(dǎo)航的關(guān)鍵。然而，無人車受機(jī)動(dòng)特征限制和復(fù)雜磁環(huán)境影響，測(cè)量數(shù)據(jù)中常常同時(shí)存在病態(tài)、噪聲及粗差等問題，降低了磁補(bǔ)償?shù)木�度與魯棒性。現(xiàn)有載體磁干擾補(bǔ)償模型中的噪聲一般假設(shè)服從高斯白噪聲或近似高斯白噪聲，這并不全面。為此，提出融合t型抗差估計(jì)的截?cái)嗫傮w最小二乘（Truncated Total Lea...

絲網(wǎng)印刷三元碳基柔性溫度傳感器的制備與溫敏優(yōu)化

摘要：為解決現(xiàn)有柔性溫度傳感器靈敏度低、響應(yīng)一致性差的問題，通過絲網(wǎng)印刷設(shè)計(jì)了石墨烯納米片（Graphene Nanoplatelets, GNPs）、導(dǎo)電炭黑（Carbon Black, CB）、多壁碳納米管（Multi-Walled Carbon Nanotubes, MWCNTs）等復(fù)合體系柔性溫度傳感器。以聚酰亞胺（Polyimide, PI）為基板，探究了不同油墨配方對(duì)性能的影響，經(jīng)粘彈性、觸...

溫度與熱應(yīng)力對(duì)SOI壓阻式壓力傳感器的性能影響

摘要：針對(duì)SOI壓阻式壓力傳感器在-50～200℃寬溫域范圍內(nèi)因熱應(yīng)力作用而引發(fā)顯著零點(diǎn)漂移這一關(guān)鍵技術(shù)難題，推導(dǎo)環(huán)境溫度下輸出電壓與壓敏電阻應(yīng)力的耦合關(guān)系，明確了溫度與熱應(yīng)力對(duì)傳感器的性能影響。借助COMSOL多物理場(chǎng)仿真平臺(tái)，對(duì)SOI壓阻式壓力傳感器的三層關(guān)鍵結(jié)構(gòu)開展優(yōu)化仿真研究。仿真結(jié)果表明，復(fù)合金屬層（Ti/Pt/Au）厚度為50 nm/60 nm/300 nm，鈍化層（SiO₂

面向大工作空間磁跟蹤的自適應(yīng)區(qū)域選擇算法

摘要：針對(duì)大工作空間磁性膠囊位姿定位中，傳感陣列尺度增大導(dǎo)致信號(hào)解算中面臨遠(yuǎn)場(chǎng)磁信號(hào)信噪比降低、近場(chǎng)偶極子模型失配以及全陣列解算計(jì)算量上升等問題，提出一種基于區(qū)域選擇的WPSO-LM位姿解算方法。該方法在全陣列測(cè)量數(shù)據(jù)中采用加權(quán)粒子群優(yōu)化（Weighted Particle Swarm Optimization, WPSO）進(jìn)行粗定位，隨后，以粗定位結(jié)果為中心構(gòu)建最優(yōu)解算環(huán)帶，環(huán)帶內(nèi)外徑分別依據(jù)偶極近似...

濺射功率密度對(duì)TiO₂薄膜結(jié)晶特性的多物理場(chǎng)仿真分析

摘要：TiO₂薄膜的晶體結(jié)構(gòu)是決定其光催化、光學(xué)等核心性能的關(guān)鍵因素，而濺射功率密度則通過調(diào)控沉積溫度間接影響TiO₂薄膜的結(jié)晶行為。通過建立濺射功率密度-沉積溫度的定量模型，并采用多物理場(chǎng)仿真方法，深入探究濺射功率密度對(duì)TiO₂薄膜結(jié)晶行為的調(diào)控機(jī)制。仿真結(jié)果表明：濺射功率密度由0.83 W/cm²提高到5.00 ...

基于填充式緩沖結(jié)構(gòu)的低應(yīng)力TSV設(shè)計(jì)

摘要：隨著三維集成與MEMS器件向高集成度與高可靠性方向發(fā)展，傳統(tǒng)硅通孔（Through-Silicon Via,TSV）結(jié)構(gòu)在溫度載荷作用下因材料熱膨脹系數(shù)失配而引發(fā)的界面熱應(yīng)力集中問題日益突出，成為影響器件可靠性的關(guān)鍵因素。針對(duì)上述問題，在不改變TSV主體通孔結(jié)構(gòu)及現(xiàn)有基本工藝流程的前提下，提出一種填充式緩沖結(jié)構(gòu)TSV設(shè)計(jì)方案，通過在通孔外圍引入填充低楊氏模量材料的環(huán)形緩沖溝槽，從而降低界面應(yīng)力集中...

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