真空科學與技術學報

所屬欄目：科技期刊熱度：時間：

真空科學與技術學報 關注(): 期刊周期：月刊; 期刊級別：國家級; 國內統(tǒng)一刊號：11-5177/TB; 國際標準刊號：1672-7126; 主辦單位：中國真空學會; 主管單位：中國科學技術協(xié)會; 查看真空科學與技術學報近十年數據入口>>>; 上一本期雜志：《包裝工程》工程師職稱論文發(fā)表; 下一本期雜志：《消防科學與技術》雜志編輯部

　　【雜志簡介】

　　《真空科學與技術學報》主要刊登真空技術、表面與界面物理與化學、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學與工藝等。

　　主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業(yè)技術、科研動態(tài)與學術活動、快報等。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄　國外數據庫收錄

　　美國化學文摘

　　【欄目設置】

　　主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業(yè)技術、科研動態(tài)與學術活動、快報等。

　　雜志優(yōu)秀目錄參考：

　　容性耦合等離子體腔室放電特性仿真研究楊旺，劉學平，夏煥雄，向東，牟鵬，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng

　　用Langmuir探針法標定的發(fā)射光譜法診斷等離子體電子密度及分布陳宗勝，林志丹，時家明，馬麗芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang

　　基于PEM和模糊PI的反應磁控濺射非線性控制方法張軍，葉敏，張新榮，張道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei

　　應用于等離子體破裂防護的雙渦流驅動快速充氣閥的研制莊會東，張曉東，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong

　　多模式旋轉磁場對電弧離子鍍弧斑放電的影響分析郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，謝婷婷，王向紅，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong

　　高碳錳鐵預氧化—真空脫碳制備低碳錳鐵熱力學分析及實驗研究徐寶強，馬永博，楊斌，劉大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun

　　TiO2真空碳熱反應及可溶性TiO陽極電解過程研究趙坤，王耀武，陳昪，李應龍，馮乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，Feng Naixiang

　　氣相合金化制備鎂鋅二元合金的研究牛立斌，許臻，彭建洪，王曉剛，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，Fan Zimin

　　氧化鋁真空碳熱還原氯化歧化過程中二氯化鋁行為研究盧勇，周岳珍，陳秀敏，舒凱，高騰飛，郁青春，劉大春，楊斌，徐寶強

　　磁控濺射制備Er3+摻雜Al2O3薄膜的上轉換發(fā)光特性王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie

　　Ti6Al4V磁控濺射沉積Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究郭楊陽，田偉紅，黃曉波，張翔宇，李軒鵬，范愛蘭，唐賓，劉小萍

　　真空蒸鍍Ag2O/HDPE膜對奶酪的保鮮性研究李亞娜，徐偉民，張國全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan

　　N離子注入對TiN薄膜的組織及性能的影響馮軍，金凡亞，童洪輝，但敏，沈麗如，陳美艷，鄧雉，賴新春

　　冶金類評職稱投稿：利用尾礦廢石和鋼渣制備無熟料早強型 C30混凝土

　　摘要：研究利用鋼渣、礦渣、脫硫石膏作膠凝材料，北京密云地區(qū)鐵尾礦廢石及廢砂作粗細骨料制備無熟料早強型C30混凝土。確定鋼渣、礦渣超細粉的最佳粉磨時間，試驗得出膠凝材料的最佳配合比。使用SMФ500×500型小型球磨機對鋼渣、礦渣、脫硫石膏進行機械粉磨，鋼渣比表面積達到 630 m2/kg，礦渣比表面積達到580 m2/kg，脫硫石膏粉磨25min。通過膠凝材料配合比的確定實驗得出最優(yōu)配方為：膠凝材料中鋼渣粉占28%，礦渣粉占60%，脫硫石膏占12%的配方最優(yōu)。在標準養(yǎng)護條件下，所制備混凝土試塊早期強度較高，力學性能符合C30混凝土的要求。借助XRD和SEM分析了鋼渣-礦渣-脫硫石膏基膠凝材料的水化產物，探討該體系的水化反應機理。該膠凝材料的水化產物主要是水化硅酸鈣(C-S-H)、鈣礬石(AFt)、二水石膏(CaSO4・2H2O)、萊粒硅鈣石[Ca5(SO4)2(OH)2]。體系的水化過程主要經歷了鋼渣及礦渣的解體、水化產物的形成和生長、水化產物與未水化產物的凝聚和硬化三個階段。

　　關鍵詞：鋼渣,礦渣,脫硫石膏,C30混凝土

　　真空科學與技術學報最新期刊目錄

螺桿真空泵抽氣性能預測模型與分析方法研究

摘要：隨著半導體等領域對真空環(huán)境潔凈度要求的提高，干式螺桿真空泵憑其無油、高抽速、節(jié)能等特性被廣泛應用。通過數值模型實現對螺桿真空泵的抽氣性能預測，是其研發(fā)設計的關鍵。已有螺桿真空泵抽速性能預測的腔室模型，不能正確給出氣體在泵內輸運過程的壓強連續(xù)變化曲線。為此，本文提出了一種新的“動態(tài)腔室模型”，用于螺桿真空泵的抽氣性能預測研究。通過與實驗抽速曲線的對比，驗證了本文提出的新模型能夠更精確地預測螺桿真空泵...

EAST裝置低Z材料粉末注入系統(tǒng)振動與流量控制研究

摘要：在磁約束核聚變全超導托卡馬克（EAST）等離子體放電中，通過實時低Z粉末材料注入可以進行實時壁處理，有效地控制來自第一壁的雜質和燃料粒子再循環(huán)，促進高約束模式放電的獲得與穩(wěn)定維持。粉末注入系統(tǒng)通過壓電陶瓷片在特定頻率正弦波電壓驅動下，產生共振從而驅動粉末流動，其振動特性直接關系到粉末注入的流量及穩(wěn)定性等。本文重點研究了壓電陶瓷片的振動模態(tài)、共振頻率及其粉末流量的定標關系。首先，單一壓電陶瓷片振動模...

油氣回收真空泵壓縮機性能智能測試系統(tǒng)研究及工程應用

摘要：油氣回收是資源循環(huán)利用、環(huán)境保護、持續(xù)發(fā)展的動力，更是全球治理和社會發(fā)展需要。化石能源開采、輸運、使用過程中揮發(fā)性油氣不斷產生，收集處理這些氣體的裝備涉及到真空泵、壓縮機等。抽速和真空度是真空-壓縮機最重要、互相關聯(lián)參量，不同類型的真空泵有不同的氣量測定理論、方法和規(guī)范。定壓法和定質量流量是最常用的方法，傳統(tǒng)測量方法采用手動控制測量元件，取得原始參數，再套入標準、規(guī)范公式計算出真空泵和壓縮機的流量...

真空下陶瓷的摩擦放氣現象及機理研究

摘要：壓電陶瓷電機憑借高精度控制與無潤滑系統(tǒng)的特性，在高真空乃至超高真空系統(tǒng)中應用日益廣泛。然而，依靠摩擦驅動的壓電陶瓷電機在運行時，不可避免地會產生摩擦放氣現象，排出的氣體將污染潔凈的真空環(huán)境。因此，開展陶瓷在真空條件下的摩擦放氣實驗，研究其放氣現象與機理，是有效控制摩擦放氣影響的關鍵。本文以常用的96% 氧化鋁陶瓷片為研究對象，在不同載荷、滑動速度和滑動距離的變量下，測定其摩擦放氣量；運用RGA 質...

真空旁路開關機構運動特性不確定性分析

摘要：本文以3.6 kV/2500 A真空旁路開關適配單穩(wěn)態(tài)永磁操動機構為研究對象，首先構建其三維物理數學模型，并通過有限元法開展數值模擬，聚焦機構服役過程中由于結構參量和外加驅動激勵存在的不確定性因素，采用混沌多項式展開（PCE）法分析結構參數和外加激勵的變化對機構平均速度與末速度概率分布的影響規(guī)律，并給出機構穩(wěn)定運行所需的結構參數與激勵參數可靠區(qū)間閾值

同步輻射儲存環(huán)束線管封裝平臺設計與研究

摘要：為滿足儲存環(huán)束線管在組裝前的封裝保護需求，本研究開發(fā)了一套高效多通道束線管封裝平臺。平臺采用模塊化三腔結構設計，并通過高真空插板閥實現靈活隔離與聯(lián)通，使其既能在調試階段進行整體抽氣，又可在封裝階段靈活切換抽氣與充氣路徑；同時，平臺支持單批次同步封裝4根束線管，并配置多泵組協(xié)同抽氣系統(tǒng)，從而有效避免了傳統(tǒng)系統(tǒng)頻繁啟停的問題，實現高效連續(xù)封裝。本文對平臺真空腔在抽真空、烘烤抽氣和充氣封裝三種典型工況下...

基于阿倫尼烏斯公式的不同材料放氣加速因子研究

摘要：在材料放氣的研究中，阿倫尼烏斯公式常用于加速壽命實驗的加速因子計算，利用活化能定量表征其與溫度之間的關系。然而，當前研究中往往忽略了放氣率在實驗過程中的變化，導致理論模型與實際結果存在偏差。本文以阿倫尼烏斯公式為基礎，從理論上分別探討了其與金屬材料（304 不銹鋼）和聚合物材料（聚酰亞胺）放氣機理間的聯(lián)系。結合材料放氣的活化能與衰減因子，本文建立了統(tǒng)一的加速因子數學模型，并通過兩種實驗方法（流導法...

紫外輻照對聚酰亞胺薄膜放氣率的影響

摘要：真空系統(tǒng)中材料的放氣率是影響其真空度的關鍵因素。聚酰亞胺（PI）因其優(yōu)異性能廣泛應用于真空領域，但其表面和內部會吸附溶解大量氣體，導致未經處理的PI放氣率可達10^-6 Pa·m³/(s·cm²)量級。本文以聚酰亞胺薄膜為研究對象，系統(tǒng)探究紫外輻照對其放氣行為的調控機制。通過設計波長（185 nm、254 nm、365 nm）、功率（...

亞微米碳基薄膜抑制二次電子發(fā)射效應及其對微放電閾值的調控

摘要：在微波場作用下，空間電子諧振倍增引起的微放電效應是導致航天器性能下降的重要因素。碳薄膜通過抑制二次電子發(fā)射，對降低微放電效應風險具有顯著潛力。本研究采用磁控濺射法，通過控制濺射功率在銅表面沉積不同厚度的亞微米碳基薄膜，測量其二次電子發(fā)射系數（Secondary electron yield，SEY），采用掃描電子顯微鏡對樣品表面形貌、成分、薄膜厚度進行分析表征，通過CST Studio Suite...

一種微針尖環(huán)形陣列陰極電子槍

摘要：本文設計了一種場發(fā)射碳納米管冷陰極微焦點電子槍，陰極采用圓錐形狀沿對稱軸一分為二，切面為底面，并在圓柱形凹槽內均勻分布，組成環(huán)形陣列，該設計呈凹面形狀，具備預聚焦效果，為后續(xù)聚焦系統(tǒng)提供了更為理想的入射條件。此外，設計中還包括菱形柵孔柵網和雙曲聚焦電極。陰極采用微針尖設計，顯著增強尖端的電場強度，從而提高發(fā)射電流密度并降低開啟電壓；菱形柵孔柵網則能夠實現較高的電子通過率；雙曲聚焦電極通過優(yōu)化電場分...

束流轟擊角度與材料解吸特性關系研究

摘要：針對材料解吸導致的真空劣化問題，重點研究了轟擊角度與材料解吸率的關聯(lián)機制。通過自主研發(fā)可調角度的多樣靶材解吸率測試裝置，采用143 keV/u Bi³²⁺離子束對氧化鋯陶瓷、陶瓷鍍金及不銹鋼鍍金三類材料進行解吸特性研究。結果表明：材料解吸率隨入射角度增加呈現顯著增長趨勢，束流轟擊靶材時H₂占比迅速增加；表面鍍金處理可使氧化鋯樣件解吸率降低約50%，而不同...

應用于全固態(tài)薄膜電池的硫薄膜正極

摘要：隨著物聯(lián)網時代的來臨，人們對于可與集成電路兼容制造的微型電源的需求日益迫切。全固態(tài)薄膜電池（All-solid-state thin-film batteries，ASSTFBs）采用薄膜制造工藝而成為能與集成電路集成制造的理想片上電源。鋰硫電池具有極高的理論能量密度，若將其應用于ASSTFBs，則有望大幅提升其能量密度。然而，單質硫的低熔點以及固有的遲滯動力學導致了研究人員對硫薄膜的制備經驗不足...

襯底修飾層誘導的高覆蓋率單層MoS₂晶圓生長研究

摘要：作為后摩爾時代集成電路發(fā)展的關鍵候選材料之一，二維二硫化鉬（MoS₂）晶圓級高質量制備是其產業(yè)化應用的重要基礎。當前基于藍寶石襯底的化學氣相沉積（CVD）法雖可實現大尺寸MoS₂薄膜生長，但受限于氣相MoO₃在藍寶石AlO界面上吸附能力較弱導致的鉬源不均勻沉積，造成了薄膜翹曲和裂紋缺陷等問題。研究提出了一種藍寶石襯底表面預制備Al-...

低溫技術的發(fā)展及未來趨勢

摘要：工業(yè)革命以來，隨著氮、氫和氦等氣體成功液化，同時超導現象的發(fā)現，低溫技術得以迅速發(fā)展。文章回顧了低溫技術的發(fā)展歷史，從被動利用天然冰到熱力學理論建立與主動制冷技術的突破，特別是Joule-Thomson效應與超導現象的發(fā)現；介紹了低溫技術的基本工作原理，包括絕熱膨脹、節(jié)流效應和蒸氣壓縮制冷循環(huán)，并重點描述了G-M制冷機、脈管制冷機和稀釋制冷機典型設備；闡述了低溫技術在科學研究、工業(yè)生產、航空航天和...

電子束光刻技術介紹與展望

摘要：電子束光刻（Electron Beam Lithography,EBL）作為能夠實現亞微米乃至納米尺度圖形化制造的常用微納加工技術，憑借其高的加工精度與靈活的圖形加工能力，在微納制造領域扮演著至關重要的角色。文章系統(tǒng)性地回顧了電子束光刻技術的基本物理原理及設備發(fā)展脈絡。重點闡述了早期基于掃描電子顯微鏡的高斯束EBL設備，以及為突破寫入效率和精度瓶頸而演進的商用變形束與前沿的多束EBL系統(tǒng)，并在此基...

編委按

摘要：<正>2022年，中國真空學會提出的“如何實現原子尺度精準制備和結構調控構建未來信息功能器件"這一前沿科學問題，成功入選中國科協(xié)當年發(fā)布的十大關鍵科學問題。該問題聚焦于原子尺度下的新材料創(chuàng)制、新器件構筑以及跨尺度物性調控，深刻回應了新一輪信息技術革命背景下我國材料、納米和信息等多學科交叉前沿的發(fā)展需求。這一科學問題的提出，源于信息器件微縮化趨勢帶來的根本性挑戰(zhàn)。隨著傳統(tǒng)硅基器件逐步逼近...

基于超導高重頻加速器的大連先進光源束流測試平臺真空系統(tǒng)

摘要：大連先進光源（DALS）是規(guī)劃中基于超導連續(xù)波直線加速器架構的極紫外自由電子激光綜合裝置，其核心目標是通過1 GeV電子束流產生重復頻率1 MHz、波長覆蓋6.5～180 nm的高亮度自由電子激光裝置。作為DALS建設的關鍵預研項目，DALS束流測試平臺旨在突破高品質束流生成的核心技術瓶頸。本工作面向使用超導高重頻加速器的束流測試平臺常溫段真空系統(tǒng)的真空系統(tǒng)設計及關鍵技術，基于束流物理參數需求，通...

大面積微帶天線真空汽相焊接工藝研究

摘要：采用常規(guī)曲線焊接微帶天線易導致焊接強度不足，同時大面積微帶天線翹曲嚴重無法保證焊接強度，為實現大面積微帶天線可靠的機械連接，基于多相流VOF方程建立真空汽相焊接模型，預測微帶天線真空汽相焊接時的溫度場，通過單因素法確定合適的焊接工藝窗口，測溫數據顯示焊接仿真誤差不超過3.5%，試驗測溫顯示微帶天線中央比四周高20℃，微帶天線與框架焊接空洞率低于10%，表明建立的焊接模型預測溫度場較為準確，可為焊接...

八面體模型理論應用：泡沫陶瓷的比表面積

摘要：基于多孔材料八面體結構模型，通過適當的數學處理方法，作者獲得了此類材料的比表面積計算公式。本文通過若干泡沫陶瓷產品比表面積的實踐研究，對該計算公式進行了系列的實踐應用和驗證。既涉及不同材質的泡沫陶瓷產品，也涉及不同結構的泡沫陶瓷產品。研究結果顯示，本表征公式既可較好地計算不同材質的泡沫陶瓷的比表面積，也可較好地計算不同結構的泡沫陶瓷的比表面積。這說明本表征公式對泡沫陶瓷比表面積的計算具有良好的實踐...

超導加速模組水平測試平臺真空泵站結構分析與優(yōu)化

摘要：文章以超導加速模組水平測試平臺的束流真空泵站為研究對象，開展結構仿真分析和多目標優(yōu)化設計，以滿足其安全性和輕量化要求。首先，基于靜力學仿真和子模型技術，分析真空泵站的強度和剛度并提出優(yōu)化方案。隨后，通過中心復合設計（CCD）方法和參數化仿真獲得試驗樣本空間，建立克里金（Kriging）代理模型并進行響應面分析。最后，采用多目標遺傳算法（MOGA）求得帕累托（Pareto）最優(yōu)解，并對優(yōu)選方案進行仿...

　　相關科技期刊推薦

　　核心期刊推薦

查看更多科技期刊

久久精品99_国产精品视频免费一区_91精品视频播放_国产伦精品一区二区三区视频免费

真空科學與技術學報